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高溫爐熱場

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圓形真空爐膽

圓形真空爐膽是真空熱處理設備中的核心部件,主要用于高溫環境下對材料進行無氧化、無脫碳的精密熱處理。
產品描述

  核心功能與優勢

  真空環境:爐膽內部抽真空(通常≤10?3Pa),消除氧氣和水蒸氣,防止材料氧化、脫碳,尤其適合鈦合金、不銹鋼等活性金屬。

  均勻加熱:圓形結構利于熱場均勻分布(溫差可控制在±5℃以內),避免工件變形。

  高溫性能:采用鉬、鎢或石墨等耐高溫材料(可達2200℃),配合多層隔熱設計減少熱損失。

  典型結構與材料

  主體材料:

  金屬型:不銹鋼(≤1000℃)、鉬(1600℃)、鉭(2200℃),需電解拋光降低放氣率。

  非金屬型:高純石墨(抗氧化涂層處理)、陶瓷纖維(快速升溫)。

  多層設計:

  內膽:直接接觸高溫,選用高純度材料。

  隔熱層:多層鉬片或石墨氈,反射熱輻射。

  冷卻系統:外置水冷夾套(快速降溫至300℃以下)。

  關鍵制造工藝

  焊接技術:氬弧焊或電子束焊確保真空密封,焊縫漏率<1×10?1?Pa·m3/s。

  表面處理:內壁鏡面拋光(Ra≤0.4μm)減少氣體吸附。

  支撐結構:陶瓷立柱或水冷電極,避免熱變形傳導。

  應用場景

  航空航天:渦輪葉片的熱等靜壓(HIP)處理。

  半導體:硅晶圓的退火工藝(要求金屬污染<0.1ppm)。

  工具鋼:模具真空淬火(硬度HRC60以上)。

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