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鎢制品類

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鎢加熱器

鎢加熱器是由金屬鎢(Tungsten, W)或鎢合金制成的耐高溫電熱元件,憑借其超高熔點(3422°C)和優異的高溫強度,廣泛應用于半導體、真空爐、藍寶石晶體生長等領域。
產品描述

  鎢加熱器的核心特性

  ?超高熔點:3422°C,是目前金屬中熔點高的材料。

  ?高溫穩定性:在2000°C以上仍保持高強度,不易變形。

  ?低蒸氣壓:真空環境下不易揮發,適合高純工藝。

  ?耐腐蝕性:抗熔融金屬(如銅、鋁)和部分酸堿侵蝕。

  ?高電阻率:可作為有效電熱元件(需配合大電流電源)。

  主要應用領域

 ?。?)半導體與光伏行業

  單晶硅生長:CZ法(直拉法)加熱器,溫度可達1600°C以上。

  MOCVD設備:用于GaN、LED外延片生長。

  離子注入機:高溫退火環節的加熱源。

 ?。?)高溫真空爐

  燒結爐:碳化鎢、陶瓷粉末的高溫燒結(1800~3000°C)。

  熱處理爐:特種合金(如鈦合金、高溫合金)的熱處理。

 ?。?)藍寶石晶體生長

  泡生法(Kyropoulos):鎢加熱器提供穩定高溫環境。

  導模法(EFG):用于大尺寸藍寶石襯底生產。

 ?。?)科研與特殊工業

  電子束蒸發鍍膜:鎢坩堝+加熱器一體化設計。

  核聚變實驗:第 一壁材料的高溫模擬測試。

  制造工藝與關鍵參數

  (1)材料選擇

  純鎢:高溫性能優,但脆性大(需摻雜La?O?或K改善延展性)。

  鎢合金:如W-Re(鎢錸合金),提升抗熱震性。

  (2)加工工藝

  粉末冶金:鎢粉壓制+高溫燒結(2200°C以上)。

  壓力加工:熱軋/冷拔成絲、帶、棒材(需退火消除應力)。

  焊接:電子束焊(EBW)或氬弧焊(TIG),避免晶粒粗化。

 ?。?)關鍵性能參數

  工作溫度:通常1600~3000°C(視環境而定)。

  電阻值:根據功率需求設計(需匹配電源電壓/電流)。

  壽命:真空環境中可達數千小時,氧化性氣氛中需保護措施。

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